我们所说的氮气柜一般分为三种,对这三种氮气柜以下做简单的说明:
1、氮气柜:这种是最原始的机械式的。就是在一个相对密封的柜子上加个流量计,氮气一直往柜子里面充,随着柜子里面氮气的含量渐渐增加,原来带有氧气和水分子的空气慢慢被赶出柜子,氧气的含量和水分子含量就会逐渐减小。以此来达到除湿的目的。此款氮气柜的优点是成本要低,但是无法精确控制柜子内的湿度,氮气源源不断向柜子里面充,造成很大的浪费。
2、智能氮气柜:智能氮气柜的除湿原理和氮气柜是一样的,智能氮气柜是在普通氮气柜的基础上加了一套智能充氮控制系统。我们使用之前可以事先设定一个湿度值,当湿度达到设定值系统自动停止充氮,开关门之后湿度上升,系统又会自动充氮。智能氮气柜要比普通氮气柜节省氮气70%-80%。智硕氮气柜还增加了一套专利的分流系统,让氮气通过分流小孔充进柜内,避免氮气快速进入造成“雾化现象”(肉眼无法看到),附着在晶圆或器件表面,而且柜子内氮气分布更均匀,无死角。
3、氮气防潮柜:氮气防潮柜是在智能氮气柜的基础上加了一套防潮除湿系统,这种方法更高效,更快捷。
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